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半導體冷水機的作用

點擊次數:3799    更新時間:2017-07-21

半導體冷水機的作用

    半導體冷水機是指 應用在半導體領域,如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。

    半導體冷水機的出現以及廣泛應用,是隨著科技的不斷發(fā)展,現代超精密制造、加工、測量儀器對工作環(huán)境提出了苛刻要求,尤其是以光刻機為代表的超大規(guī)模集成電路制造設備,其高集成度導致常規(guī)散熱方法遠遠不能滿足要求,同時投影物鏡的光刻質量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環(huán)境參數的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此,環(huán)境參數尤其是溫度的控制成為一項關鍵問題,而半導體冷水機的出現正好解決了這一難題。

 半導體冷水機溫度控制系統(tǒng)是保證步進掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。

半導體冷水機參數:

產品名稱

型號

制冷量

出水壓力
Kgf/cm

水流量
l/min

功率
W

水箱容積
L

外形尺寸

長*寬*高

半導體

冷水機

Kw/h

Kca/h

TF-LS-300W

0.3

258

0.1-0.6

9-20

280

5.5

505*230*500

TF-LS-600W

0.6

516

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1KW

1

860

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1.5KW

1.5

1290

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-2KW

2

1720

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-2.5KW

2.5

2150

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-3KW

3

2580

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-3.5KW

3.5

3010

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-4KW

4

3440

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-4.5KW

4.5

3870

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-6KW

6

5160

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-6.5KW

6.5

5590

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-8KW

8

6880

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-10KW

10

8600

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-12KW

12

10320

0-2

0-60

3870

80

1200*650*1200

TF-LS-15KW

15

12900

0-2

0-60

4600

88

1200*715*1200

TF-LS-18KW

18

15480

0-2

0-60

5280

105

1350*750*1500

TF-LS-20KW

20

17200

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-23KW

23

19780

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-25KW

25

21500

0-2

0-60

9000

195

1350*850*1735

TF-LS-30KW

30

25800

0-2

0-60

9000

195

1350*850*17358

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